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                熏碳炉概述

                熏碳炉概述

                作者:
                来源:
                2018/05/28 10:50
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                【摘要】:
                熏碳炉设备有水平熏碳炉和垂直熏碳炉,又分别石英管整体熏碳和内管熏碳两种,开发有可满足超长、超大石英管和石英舟的表面熏碳和烘干用,也有满足客户的石英管内壁熏碳的要求。系统配备有抽真空、充气、加热和温控系统,能对腔室内的温度及真空度进行控制和监测,利用质量流量控制器控制气体的流量。系统主要有机架、加热炉、真空系统、充气系统等几大部分组成。

                 

                  熏碳炉设备有水平熏碳炉和垂直熏碳炉,又分别石英管整体熏碳和内管熏碳两种,开发有可满足超长、超大石英管和石英舟的表面熏碳和烘干用,也有满足客户的石英管内壁熏碳的要求。系统配备有抽真空、充气、加热和温控系统,能对腔室内的温度及真空度进行控制和监测,利用质量流量控制器控制气体的流量。系统主要有机架、加热炉、真空系统、充气系统等几大部分组成。

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