退火炉设备用于改善单晶材料的品质，系统配备有抽真空、充气、加热和温控系统，能对腔室内的温度及真空度进行控制和监测，利用质量流量控制器控制气体的流量。系统主要有机架、加热炉、真空系统、充气系统等几大部分组成。

　　材料提纯设备概述

　　为晶体生长的前道工艺设备，为材料提纯设备，确保材料最终的纯度到达7N(99.99999%)标准，设备借鉴乌克兰提纯设备的原理，结合客户的工艺研发的设备：分区熔炉和精馏炉，通过这2种工艺设备最终获得半导体级的高纯材料;