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                退火炉概述

                退火炉概述

                作者:
                来源:
                2018/05/28 10:47
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                【摘要】:
                退火炉设备用于改善单晶材料的品质,系统配备有抽真空、充气、加热和温控系统,能对腔室内的温度及真空度进行控制和监测,利用质量流量控制器控制气体的流量。系统主要有机架、加热炉、真空系统、充气系统等几大部分组成。  材料提纯设备概述  为晶体生长的前道工艺设备,为材料提纯设备,确保材料最终的纯度到达7N(99.99999%)标准,设备借鉴乌克兰提纯设备的原理,结合客户的工艺研发的设备:分区熔炉和精馏炉,

                 

                  退火炉设备用于改善单晶材料的品质,系统配备有抽真空、充气、加热和温控系统,能对腔室内的温度及真空度进行控制和监测,利用质量流量控制器控制气体的流量。系统主要有机架、加热炉、真空系统、充气系统等几大部分组成。

                  材料提纯设备概述

                  为晶体生长的前道工艺设备,为材料提纯设备,确保材料最终的纯度到达7N(99.99999%)标准,设备借鉴乌克兰提纯设备的原理,结合客户的工艺研发的设备:分区熔炉和精馏炉,通过这2种工艺设备最终获得半导体级的高纯材料;